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本发明公开了一种用于三维装置具有多个垂直延伸的导体的装置及制造方法，三维(three dimensional，3D)电路中的导体可透过两段式刻蚀处理来形成。此3D电路包含具多个垂直延伸于高长宽比沟道之中的水平线。此处理包括：提供一衬底，此衬...
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