温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种导电插塞的形成方法，导电插塞与金属栅极晶体管的金属栅极电连接，该形成方法包括：提供衬底；在衬底上形成金属栅极，金属栅极包括铝层；形成位于衬底上的第一层间介质层，第一层间介质层的上表面与铝层的上表面齐平；在第一层间介质层及金属栅极上形成第...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。