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本发明揭示一种用于处理一工件的设备，其例示性特征在于包括：一处理工具，其具有一处理区域，可在该处理区域内处理一工件；及一照明系统，其经组态以将侦测光引导至该处理区域中。在此实施例中，可由该照明系统引导的侦测光具有对其而言该工件为至少部分不透...
该专利属于伊雷克托科学工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过伊雷克托科学工业股份有限公司授权不得商用。

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