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一种采用脉冲激光液相烧蚀法制备纳米结构装置制造方法及图纸
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下载一种采用脉冲激光液相烧蚀法制备纳米结构装置的技术资料
文档序号:11110250
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一种采用脉冲激光液相烧蚀法制备纳米结构的装置属于激光制造领域。该装置包括激光器、反射镜、聚焦镜、石英窗口、烧杯、烧蚀靶材、旋转平台,所述反射镜位于聚焦镜上方,所述聚焦镜位于石英窗口上方,所述石英窗口位于烧杯顶部,所述烧蚀靶材固定在烧杯内底部...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。
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