下载微机电可变形结构和三轴微机电陀螺仪的技术资料

文档序号:11108734

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本实用新型涉及一种微机电可变形结构,包括:基板;位于基板上的外框架,以外框架的中心为原点;位于外框架内部的第一联动部,第一联动部包括第一联动梁,两条杠杆梁、两条第二联动梁;第一联动梁和第二联动梁均平行于y轴设置,杠杆梁均平行于x轴设置;两条...
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