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本发明公开了一种减小超声波清洗器的维护系统及维护方法，包含：机台，其包含石英管；微波系统，其一端活动套置在石英管上。机台还包含依次相连的气体管线和双喷嘴；其中石英管水平设置，并与气体管线的输入端相连；气体从石英管进入，并经由气体管线输送至双...
该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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