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非易失性电荷俘获存储器件和逻辑CMOS器件的集成制造技术
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下载非易失性电荷俘获存储器件和逻辑CMOS器件的集成的技术资料
文档序号:11028572
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本发明描述了将非易失性存储器件集成到逻辑MOS流中的方法的实施例。一般而言,所述方法包括:在衬底的第一区域中,由覆盖衬底的表面的半导体材料形成存储器件的沟道,沟道连接存储器件的源极和漏极;在相邻于沟道的多个表面的沟道上方形成电荷俘获介质堆栈...
该专利属于赛普拉斯半导体公司所有,仅供学习研究参考,未经过赛普拉斯半导体公司授权不得商用。
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