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薄膜半导体基板、发光面板以及薄膜半导体基板的制造方法技术
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文档序号:11028035
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一种薄膜半导体基板,具备顶栅型的第1TFT(10)及第2TFT(20)和数据线(源极布线(32)),第1TFT(10)包括第1半导体层(11)、第1栅极绝缘膜(12)、第1栅电极(10G)、第1源电极(10S)及第1漏电极(10D)、以及第...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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