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一种紧凑型布局的薄膜沉积设备，主要解决现有半导体薄膜沉积设备体积庞大，占地空间大及洁净间资源浪费等问题。它包括晶圆存储组件，在晶圆存储组件中放置晶圆，作为晶圆传入、传出过程中的堆栈及存储区域，主传片室中设有传片机械手，由机械手进行从晶圆存储...
该专利属于沈阳拓荆科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳拓荆科技有限公司授权不得商用。

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