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本实用新型涉及一种多光束光学厚膜监测仪，它属于一种光学镀膜实时监控设备。本实用新型主要是解决现有的光学膜厚仪存在的监控点少、监控精度低且监控效率差的技术问题。本实用新型采用的技术方案是：多光束光学厚膜监测仪，它包括单色仪、光电探测器、信号放...
该专利属于杰莱特（苏州）精密仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杰莱特（苏州）精密仪器有限公司授权不得商用。

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