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本实用新型公开了一种重离子微孔膜蚀刻装置，包括依次设置的放卷装置、蚀刻箱、清洗箱、烘干箱和收卷装置；轴支撑装置的顶部固定有多个传动轴，轴支撑装置的底部固定有多个随动轴；传动轴与随动轴一一对应间隔铺设；轴支撑装置上还固定有加热器，加热器均匀间...
该专利属于李忠海所有，仅供学习研究参考，未经过李忠海授权不得商用。

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