下载一种半导体激光器芯片欧姆接触金属电极及其制备方法的技术资料

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一种半导体激光器芯片欧姆接触电极及其制备方法,该欧姆接触电极包括接触金属层组、保护金属层和绝缘层,接触金属层组、保护金属层和绝缘层自下至上依次设置,接触金属层组和绝缘层上覆盖有焊接金属层组;其制备方法是在半导体激光器芯片上依次蒸镀接触金属层...
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