下载光取向用偏振光照射装置以及光取向用偏振光照射方法的技术资料

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一种光取向用偏振光照射装置以及光取向用偏振光照射方法,能够高精度地检测所照射的偏振光的偏振轴的方向,在方向精度方面,能够进行高品质的光取向处理。在照射面(R)上配置工件(W),在通过经由偏振元件(121)向照射面(R)进行光照射而对工件(W...
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