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光取向用偏振光照射装置以及光取向用偏振光照射方法制造方法及图纸
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下载光取向用偏振光照射装置以及光取向用偏振光照射方法的技术资料
文档序号:10953795
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一种光取向用偏振光照射装置以及光取向用偏振光照射方法,能够高精度地检测所照射的偏振光的偏振轴的方向,在方向精度方面,能够进行高品质的光取向处理。在照射面(R)上配置工件(W),在通过经由偏振元件(121)向照射面(R)进行光照射而对工件(W...
该专利属于优志旺电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过优志旺电机株式会社授权不得商用。
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