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本实用新型公开了一种磁控溅射设备传送系统，包括传送轴,传送轴上设有链式传送带，带有卡槽的传送托盘设置于链式传送带上，且由传送托盘侧壁的第一卡扣固定于链式传送带上。所述传送托盘内设有样品托盘，样品托盘包括设置于样品托盘两旁侧壁上的滑动扳手，滑...
该专利属于国电光伏有限公司;国电新能源技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过国电光伏有限公司;国电新能源技术研究院授权不得商用。

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