下载一种机械强度增强的多孔SiO2:F薄膜的制备方法的技术资料

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本发明涉及一种机械强度增强的多孔SiO2:F薄膜的制备方法,采用溶胶-凝胶结合旋涂工艺制备多孔SiO2:F薄膜,以正硅酸乙酯(tetraethylorthosilicate,TEOS)为前驱体,四氢呋喃(THF)为溶剂,碳纳米管(CNTs)...
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