温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种纳米级精度的多自由度测量系统，将微型迈克尔逊干涉仪、自准直仪、自动恒功率电路及波长补偿系统整合在一起，作为一整体测量系统来感测测量反射镜的位移和二维角度，自动恒功率电路可以保证多自由度测量系统在较大温度范围内使用，且通过自动...
该专利属于合肥工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过合肥工业大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。