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本发明提出了一种电场间隙器件及其制造方法。在一组沟道的侧壁周围对衬底材料进行氧化。屏蔽结构意味着在顶部比底部存在更多的氧化物生长，结果是沟道之间的未氧化衬底材料区域形成了在顶部具有尖顶尖端的锥形形状。这些尖顶衬底区域然后用于形成阴极。...
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