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一种根据图形特征对自动聚焦光强进行补偿的缺陷检测方法，包括：第一步骤，用于将芯片置于聚焦光路下，从而利用聚焦光路对具有不同电路特征区域的芯片上进行扫描；第二步骤，用于根据扫描结果获得聚焦光路反射信号强度分布；第三步骤，用于根据聚焦光路反射信...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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