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一种具有电偶极层结构的氮化镓基异质结场效应晶体管制造技术
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下载一种具有电偶极层结构的氮化镓基异质结场效应晶体管的技术资料
文档序号:10751502
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本发明公开了一种具有电偶极层结构的氮化镓基异质结场效应晶体管,其结构从下至上依次主要由衬底,氮化镓缓冲层,氮化镓沟道层,势垒层以及在势垒层上形成有源极、漏极,在器件表面有淀积一层钝化层,并且在钝化层中引入电偶极层以调制沟道电场的分布。本发明...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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