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本发明提供一种阵列基板及其制作方法,该阵列基板包括玻璃基板、数据线、扫描线、像素电极、薄膜晶体管以及彩膜光阻;其中第二绝缘层用于对第二金属层与彩膜光阻层进行绝缘处理,第二绝缘层包括氮化硅绝缘层以及二氧化硅绝缘层。本发明还提供一种阵列基板的制...该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种阵列基板及其制作方法,该阵列基板包括玻璃基板、数据线、扫描线、像素电极、薄膜晶体管以及彩膜光阻;其中第二绝缘层用于对第二金属层与彩膜光阻层进行绝缘处理,第二绝缘层包括氮化硅绝缘层以及二氧化硅绝缘层。本发明还提供一种阵列基板的制...