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本发明提供一种垂直导电单元及其制造方法。该垂直导电单元包含：包含连接孔道的绝缘层、第一导体、第二导体及第三导体，其中该绝缘层包含感光性聚酰亚胺，且该感光性聚酰亚胺的玻璃转移温度为小于约200℃。本发明还提供制造该垂直导电单元的方法。...
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