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本发明公开了一种掩膜板的清洗方法,包括以下步骤:将掩膜板浸泡在丙酮中,同时用滚筒刷对掩膜板的表面从各个方向进行滚动刷洗;再将掩膜板浸泡在去离子水中进行超声清洗;重复以下步骤5次:将掩膜板放入气体和液体的强力混合流体中进行清洗后,再将掩膜板放...该专利属于上海鸿辉光通科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海鸿辉光通科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种掩膜板的清洗方法,包括以下步骤:将掩膜板浸泡在丙酮中,同时用滚筒刷对掩膜板的表面从各个方向进行滚动刷洗;再将掩膜板浸泡在去离子水中进行超声清洗;重复以下步骤5次:将掩膜板放入气体和液体的强力混合流体中进行清洗后,再将掩膜板放...