下载一种F数为0.6斐索激光干涉仪标准参考镜的技术资料

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一种F数0.6斐索激光干涉仪标准参考镜涉及光学镜头设计领域,解决了现有技术中小R数的球形元件面形检测难的问题,该参考镜包括光阑、像差平衡组分、光焦度组分和参考面,还包括:扩束组分;干涉仪发出激光,通过光阑滤过口径过大的部份,由扩束组分将光束...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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