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本发明提供一种MEMS传感器，包括由半导体基板层（50）形成的振动传感结构。半导体基板层（50）安装在底座上，所述底座包括接合至半导体基板（50）以形成矩形传感器芯片的电绝缘的基板层（52）。底座还包括用于将传感器芯片安装至外壳的电绝缘的间...
该专利属于大西洋惯性系统有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大西洋惯性系统有限公司授权不得商用。

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