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一种NH3声表面波气体传感器制造技术
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下载一种NH3声表面波气体传感器的技术资料
文档序号:10591613
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一种NH3声表面波气体传感器,包括双层压电衬底、输入叉指换能器、输出叉指换能器、单层敏感薄膜、对称镂空反射栅组成,该声表面波气体传感器结构简单、制作工艺简化、选择性好、灵敏度高、性能稳定、检测质量高、导热性和耐热性好。...
该专利属于淮南联合大学;朱小萍所有,仅供学习研究参考,未经过淮南联合大学;朱小萍授权不得商用。
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