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离子真空泵制造技术
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文档序号:10568392
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本发明公开一种离子真空泵、涉及高真空除气。它是利用电子发射磁环将抽入石英玻璃管形容器内的气体部分电离并在旋转线圈所产生的旋转磁场作用下高速旋转使气体离子、气体分子动能增加在前级真空泵的共同作用下将被抽气体连续排入大气。...
该专利属于徐建宁所有,仅供学习研究参考,未经过徐建宁授权不得商用。
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