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本发明涉及一种使用扫描仪光源的质量分析方法和装置，更具体地，涉及一种用于分析通过扫描仪光源电离的样本的质量的测量仪。根据本发明的质量分析装置包括：激光部分，其发射激光束；扫描仪模块，其执行驱动以便从所述激光部分发射的激光束照射预定区域；样本...
该专利属于电子部品研究院所有，仅供学习研究参考，未经过电子部品研究院授权不得商用。

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