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有机无机复合薄膜制造技术
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文档序号:10556002
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本发明的课题在于:对表面具有比内部高的硬度的由聚硅氧烷系的有机无机复合体构成的膜的表面进一步进行无机质化。本发明的有机无机复合薄膜为具有含有a)式(I)所示的有机硅化合物的缩合物和b)有机高分子化合物的层的有机无机复合薄膜,在该膜的表面形成...
该专利属于日本曹达株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本曹达株式会社授权不得商用。
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