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本发明公开了一种晶圆缺陷尺寸校正方法，利用缺陷观察设备观察、量取缺陷尺寸比较准确的优点，在缺陷观察设备对选取的若干缺陷的尺寸进行量取后，与缺陷检测设备建立联动，并建立相应的缺陷校正关系，自动校正缺陷检测设备对缺陷尺寸定义的准确性，使得由缺陷...
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