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完全包封的导电线制造技术
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下载完全包封的导电线的技术资料
文档序号:10508792
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一般性地描述了完全包封的导电线。例如,第一电介质层形成在衬底上。铜布线布置在第一电介质层的顶表面之下。阻挡金属层形成在铜布线之上,阻挡金属层与第一电介质层的顶表面齐平,并且第二电介质层形成在阻挡金属层和第一电介质层的顶表面上。也公开并且要求...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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