下载晶体管及其形成方法的技术资料

文档序号:10465750

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一种晶体管及其形成方法,其中,晶体管的形成方法包括:提供半导体衬底,半导体衬底表面具有若干隔离层,相邻隔离层之间形成开口,开口底部具有阈值电压调节层,阈值电压调节层内具有掺杂离子;在阈值电压调节层表面形成阻挡层、以及位于阻挡层表面的沟道层,...
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