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一种用于检测铜金属蒸气浓度的多电极微型传感器，其下而上包括：包括金属放电针阵列的放电阴极，所述放电阴极接地，通过在金属放电针尖端局部小区域内产生强电场从而场致发射电子；用于隔绝放电阴极和提取电极的第一绝缘支撑；连接直流电源的提取电极，用于提...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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