下载真空动力沉积装置的技术资料

文档序号:10434772

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提供了一种真空动力沉积装置,其包括:驱动单元;线性运动单元,联接至所述驱动单元并且被配置为根据所述驱动单元的操作而线性运动;以及角度限制单元,联接至所述线性运动单元并且被配置为根据所述线性运动单元的运动而在与所述线性运动单元的运动方向垂直的...
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