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本发明公开了一种具指插式弹簧的微机电装置，包括基板、至少一质量块、移动电极、固定电极、固定座以及指插式弹簧。移动电极沿轴向配置在质量块上。固定电极沿轴向配置在基板上，且移动电极与固定电极之间具有一临界间隙。指插式弹簧沿轴向连接质量块与固定座...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

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