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板状薄膜型散气装置制造方法及图纸
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下载板状薄膜型散气装置的技术资料
文档序号:10355615
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散气装置包括:主体,以长度方向为基准其垂直截面为三角形,形成倾斜面以使内角成为30至160度,在朝长度方向延长的两端部具备壁面以在内部形成空间;或主体,以长度方向为基准其垂直截面为三角形,为六面体型,在内部形成有空间,在朝长度方向延长的两端...
该专利属于伊耐特株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过伊耐特株式会社授权不得商用。
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