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本实用新型提出了一种锁紧机构及真空腔室，包括气缸、与气缸相连的铰链座、与气缸相连的气缸用连杆、与气缸用连杆相固定的第一关节轴承、与第一关节轴承相连的锁紧杆、设置于锁紧杆上的锁紧螺丝、与锁紧杆相连的第二关节轴承以及与第二关节轴承相连锁紧支撑座...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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