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一种基于人工磁导体结构的60GHz片上天线制造技术
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下载一种基于人工磁导体结构的60GHz片上天线的技术资料
文档序号:10321619
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本实用新型涉及一种基于人工磁导体结构的60GHz片上天线。本实用新型包括由下到上的硅衬底层、SiO2层、SiN层,其特征在于:SiO2层包含六层金属层,从下到上依次为M1~M6层,三角形单极子天线位于SiO2层的M6金属层,周期加载的基于C...
该专利属于杭州电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过杭州电子科技大学授权不得商用。
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