温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

光栅尺在高速度条件下的可靠性检测方法及检测所用装置，属于光栅尺检测技术领域，该方法包括一、将绝对式光栅尺安装在单轴直线运动平台上，将单轴直线运动平台固定在隔振平台上，用千分表测量光栅尺的侧面与上端面，移动单轴直线运动平台，调整光栅尺使其符合...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。