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双高阻层槽形栅多晶硅结构的联栅晶体管制造技术
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文档序号:10269828
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本发明涉及一种双高阻层槽形栅多晶硅结构的联栅晶体管,在其下层为N+型低电阻率层、上层为N型高电阻率层的硅衬底片的上表面有多个N+型的高掺杂浓度的发射区,该发射区的上面连接着N+型的掺杂多晶硅层,其特点是:所述硅衬底片的N型高电阻率层分为上下...
该专利属于李思敏所有,仅供学习研究参考,未经过李思敏授权不得商用。
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