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本发明提供了一种颗粒清理装置，通过驱动装置驱动回收装置对设备环境中的颗粒进行吸附回收，有效的对设备环境中角落处颗粒的清理，避免了人工手动擦拭需要耗费大量的人力物力且洁净效果不佳的现象，提高了设备环境颗粒的洁净度，进而提高了光罩的洁净度。...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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