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本发明提供了一种从基板上移除膜的方法，所述方法包括将组合物施涂到所述膜上，和其中所述组合物至少包含以下物质：a)水；和b)至少一种选自以下化合物(i-v)的化合物：i)NR4HF2(式1)，其中R＝H、烷基、取代的烷基，ii)NR4F(式2...
该专利属于罗姆哈斯电子材料有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗姆哈斯电子材料有限责任公司授权不得商用。

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