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一种设备包括配置为振荡器的一部分的微机电系统(MEMS)器件。该MEMS器件包括：从MEMS的衬底悬置的质量体；第一电极，配置为基于该质量体的位移来提供第一信号；以及第二电极，配置为接收基于第一信号的第二信号。该设备包括与第一电极和第一节点...
该专利属于硅谷实验室公司所有，仅供学习研究参考，未经过硅谷实验室公司授权不得商用。

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