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本发明是有关于一种料罐，用于硅片背面干法喷砂制造吸杂源以消除硅抛光表面氧化雾，其包括：储物罐及震动器，所述震动器设置于所述储物罐使所述储物罐内储存的物品处于振动状态。本发明通过对料罐增加震动器，可以使储存于料罐中的金刚砂一直保持疏松状态，从...
该专利属于洛阳市鼎晶电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过洛阳市鼎晶电子材料有限公司授权不得商用。

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