下载改进抛光件吸附方式的抛光机的技术资料

文档序号:10124972

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本发明公开了一种改进抛光件吸附方式的抛光机,包括机架、吸附上盘、吸附下盘、上盘驱动系统、下盘驱动系统和抽真空系统,上/下盘驱动系统包括一中心轴,中心轴的底部与吸附上/下盘相连接,中心轴内开设有封闭式连接气路,中心轴靠近底部位置设有一旋转气路...
该专利属于湖南永创机电设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖南永创机电设备有限公司授权不得商用。

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