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本发明提供一种电源装置，包括电源；油式变压器，位于半导体制造设备内部，所述油式变压器具有输入端，所述输入端与所述电源耦接；安全保护装置，串联于油式变压器输入端，用于在油式变压器输入端的电流超过安全保护装置的阈值电流时，能使油式变压器与所述电...
该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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