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本实用新型属于新材料技术领域，具体涉及一种利用高温退火在碳化硅衬底上制备石墨烯时使用的石英加热腔，该石英加热腔可将相应的石墨桶放置在腔体内，利用常规的射频加热方式对其加热生产石墨烯，该加热腔包括内有中空夹层的上开口腔体和顶盖，顶盖上设置有测...
该专利属于山东天岳晶体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东天岳晶体材料有限公司授权不得商用。

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