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本发明实施例公开了一种波长转换器件、其制造方法以及相关波长转换装置。该波长转换器件的制作方法包括将第一表面为<100>晶面或者<110>晶面的单晶硅片的第一表面上形成带有无掩膜区的掩膜层，并放置到预定腐蚀液中进行腐蚀...
该专利属于深圳市绎立锐光科技开发有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市绎立锐光科技开发有限公司授权不得商用。

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