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一种显微镜快速调焦载物台装置制造方法及图纸
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下载一种显微镜快速调焦载物台装置的技术资料
文档序号:10036964
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本实用新型公开了一种显微镜调焦载物台装置,是由上部载物台、底座、压电陶瓷执行器、预紧弹簧以及控制单元等部件组成;本实用新型通过控制固定在上部载物台与底座之间的三个压电陶瓷执行器的独立或同步伸缩动作可改变载物台水平度或高度;控制单元通过调节直...
该专利属于吉林大学所有,仅供学习研究参考,未经过吉林大学授权不得商用。
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