【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】针对靶材压制过程中的厚度控制问题，本技术提供一种带有刻度的压靶模具，包括模具套、下模具、上模具、上模具杆、刻度尺，其中，上模具和下模具安装在模具套的中心孔内，且上模具的上模具杆上安装有刻度尺。本技术在上模具的上模具杆上安装有刻度尺，能够保证每次压制得到的靶材具有相同的厚度，保证了生产上对厚度的一致性要求。【专利说明】 一种带有刻度的压靶模具
本技术涉及模具领域，尤其是涉及到一种带有刻度的压靶模具。
技术介绍
使用脉冲激光沉积、磁控溅射等设备制备氧化物、陶瓷薄膜的时候都需要靶材。一般来说，氧化物、陶瓷靶材是通过粉末压制而成。压制靶材的过程是将粉末放入模具内进行压制。在工业化生产靶材的时候，靶材的厚度要求是一定的，如何保证压制靶材的厚度均匀性是关键问题。
技术实现思路
针对靶材压制过程中的厚度控制问题，本技术提供一种带有刻度的压靶模具，能够保证每次压制得到的靶材具有相同的厚度，保证了生产上对厚度的一致性要求。本技术所采取的技术方案为，一种带有刻度的压靶模具，包括模具套、下模具、上模具、上模具杆、刻度尺，其中，上模具和下模具安装在模具套的中心孔内，且上模具的上模具杆上安装有刻度尺。本技术在上模具的上模具杆上安装有刻度尺，能够保证每次压制得到的靶材具有相同的厚度，保证了生产上对厚度的一致性要求。【专利附图】【附图说明】图1为本技术的结构示意图。图中:1模具套、2下模具、3上模具、4上模具杆、5刻度尺。【具体实施方式】以下结合附图实施例对本技术作进一步详细描述。图1为本技术的结构示意图，模具套1、下模具2、上模具3、上模具杆4、刻度尺5，其中，上模具3和...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。