【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于光束对准的能量传感器相关申请的交叉引用本申请要求于2011年8月19日提交的题为“用于光束对准的能量传感器(ENERGYSENSORSFORLIGHTBEAMALIGNMENT)”的美国临时专利申请No.61/525,561、的优先权;并且要求于2011年9月30日提交的题为“用于光束对准的能量传感器(ENERGYSENSORSFORLIGHTBEAMALIGNMENT)”的美国实用专利申请No.13/249,504的优先权,两者都通过引用而整体结合于此。
所公开的主题涉及用来相对于远紫外光源内目标区域处的靶材料对准来自驱动激光系统的放大光束的设备。背景远紫外(EUV)光是波长在大约50nm或更短的电磁辐射,有时也被称为软X射线。EUV光可被用于光刻工艺以在基板(例如硅晶片)上制作极微小的特征。产生EUV光的方法包括,但不一定限于,将含有发射谱线在EUV范围内的元素(例如,氙、锂、或锡)的材料转换成等离子态。在一个这样的方法中,通常被称为激光产生等离子体(“LPP”),所需的等离子体可通过用可被称为驱动激光的放大光束照射液滴、流、或团簇材料形式的靶材料而产生。对于这个过程,等离子体通常在密封容器(例如真空腔)中产生,并用各种类型的测量仪器进行监视。概述在某些总的方面,放大光束脉冲的位置是通过以下步骤相对于目标混合物的靶材料进行调整的:沿驱动轴向目标混合物所在的目标区域引导放大光束脉冲,从而将目标混合物中靶材料的至少一部分转换成发射紫外电磁辐射的等离子态;在与跨越目标区域的主轴径向分离的两个或更多位置处检测所发射的电磁辐射的能量;分析所检测到的能量; ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.08.19 US 61/525,561;2011.09.30 US 13/249,5041.一种调整放大光束脉冲相对于目标混合物的靶材料的位置的方法,所述方法包括:沿驱动轴向目标混合物所在的目标区域引导所述放大光束脉冲,从而将目标混合物内靶材料的至少一部分转化为发射紫外电磁辐射的等离子态;在与横跨目标区域的主轴径向分离的两个或更多不同位置上检测所发射的紫外电磁辐射的能量;分析所检测的能量,分析所检测的能量包括执行使用所检测的能量的计算;基于使用所检测的能量的所述计算,估计在目标区域内目标混合物和放大光束的驱动轴之间的相对径向对准;以及调整放大光束相对于目标区域内目标混合物的径向对准,从而调整目标区域内目标混合物与驱动轴之间的相对径向距离。2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,检测所发射的紫外电磁辐射的能量包括检测远紫外电磁辐射的能量。3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,检测所发射的紫外电磁辐射的能量包括检测深紫外电磁辐射的能量。4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,估计目标混合物和驱动轴之间的相对径向对准包括估计目标区域内目标混合物和驱动轴的径向对准。5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,调整放大光束相对于目标混合物的径向对准包括调整用于将放大光束朝向目标区域内目标混合物引导和移动的一个或多个光学元件的位置和角度中的一个或多个。6.如权利要求5所述的方法,其特征在于,调整用于引导和移动放大光束的一个或多个光学元件的位置和角度中的一个或多个包括调整将放大光束朝向目标区域重定向的曲面镜的位置和角度中的一个或多个。7.如权利要求1所述的方法,其特征在于,在与主轴径向分离的两个或更多位置上检测所发射紫外电磁辐射的能量包括在与主轴径向分离的四个位置上检测所发射紫外电磁辐射的能量。8.如权利要求1所述的方法,进一步包括捕捉从目标混合物朝向提供放大光束的驱动激光系统向回反射的激光束的光学图像;其中,估计目标区域内目标混合物和放大光束的驱动轴之间的相对径向对准也基于分析所捕捉的图像。9.如权利要求1所述的方法,其特征在于,在两个或更多位置上检测所发射紫外电磁辐射的能量包括以放大光束的脉冲重复率的量级上的重复率检测能量。10.如权利要求1所述的方法,其特征在于,调整放大光束相对于目标区域内目标混合物的径向对准减少目标区域内目标混合物和驱动轴之间的相对径向距离。11.如权利要求1所述的方法,其特征在于,分析所检测的能量包括确定在第一一个或多个位置处所取的第一组能量的第一总能量和在第二一个或多个位置处所取的第二组能量的第二总能量之间的差值,第一一个或多个位置与第二一个或多个位置不同。12.如权利要求11所述的方法,其特征在于,第一总能量是在第一一个或多个位置处所取的能量总和,而第二总能量是在第二一个或多个位置处所取的能量总和。13.如权利要求11所述的方法,其特征在于,分析所检测的能量包括由在所有两个或更多位置处所取的所有能量的总能量对差值进行归一化。14.如权利要求1所述的方法,其特征在于,估计相对径向对准包括估计沿垂直于主轴的第一方向上所取的在目标区域内目标混合物和放大光束的驱动轴之间的径向距离。15.如权利要求14所述的方法,其特征在于,估计相对径向对准包括估计沿垂直于第一方向和主轴的另一方向上所取的在目标区域内目标混合物和放大光束的驱动轴之间的径向距离。16.一种光源设备,包括:驱...
【专利技术属性】
技术研发人员:M·R·格雷厄姆,S·常,J·H·克鲁奇,I·V·福缅科夫,
申请(专利权)人:西默有限公司,
类型:
国别省市:
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